EN

Заведующий кафедрой
профессор Александров Андрей Федорович

Кафедра физической электроники является одной из старейших кафедр физического факультета МГУ. Она была образована в декабре 1931 года на базе лаборатории электрических явлений в газах при Институте физики Московского университета и до 1990 года называлась просто кафедрой электроники.

Профессор Г.В.Спивак (1900-1989)

 

 

Научной основой, на которой выросла кафедра физической электроники, явились классические работы выдающихся профессоров Московского университета — А.Г. Столетова по фотоэффекту, П.Н. Лебедева по электромагнитным колебаниям и волнам, С.А. Богуславского по кинетике электронов в электрических и магнитных полях. До 1966 г. кафедрой заведовал ее основатель, ученик П.Н. Лебедева, известный ученый и педагог профессор Николай Александрович Капцов (1883-1966), создатель научной школы в области электрических явлений в газах и вакууме, связанных с формированием и поддержанием различных форм газовых разрядов. Первыми профессорами кафедры были лауреат Ломоносовской премии Г.В. Спивак и дважды лауреат Государственной премии СССР Э.И. Рейхрудель. В шестидесятые годы профессором кафедры по совместительству работал В.Л. Грановский. С 1966 г. по 1984 г. кафедрой руководил проф. Г.В. Спивак. С  1985 г. кафедрой заведует Заслуженный деятель науки РФ, Заслуженный профессор МГУ, дважды лауреат Государственной премии СССР, дважды лауреат Ломоносовской премии профессор А.Ф. Александров. Профессорами кафедры в настоящее время являются А.А. Кузовников, М.В. Кузелев, Заслуженный деятель науки РФ, дважды лауреат Государственной премии СССР, лауреат Ломоносовской премии А.А. Рухадзе и И.Ф.  Уразгильдин.

Заседание кафедры физической электроники

На кафедре работают 58 штатных сотрудников и 3 совместителя. Среди них 13 докторов наук (кроме профессоров, это ведущие научные сотрудники И.Б. Тимофеев, В.С. Черныш, В.Е. Юрасова, лауреат Ломоносовской премии В.И. Петров, Э.И. Рау, В.П. Савинов, В.М.  Шибков) и 28 кандидатов наук.

Предзащита кандидатской диссертации
на кафедре. Профессор И.Ф.Уразгильдин
и к.ф.-м.н. Е.Ю.Усман

 

 

Кафедра готовит студентов, аспирантов, докторантов и стажеров по специальностям «Физика плазмы» и «Физическая электроника». Кафедра последовательно реализует концепцию университетского образования, основанную на единстве учебного процесса и научно-исследовательской работы студентов. Кафедрой ведется преподавание курсов «Колебания и волны в плазменных средах» и «Физические основы электроники твердого тела» для студентов отделения радиофизики и электроники и осуществляется полное обеспечение учебного процесса на 3—6  курсах, включая чтение 18 специальных курсов и работу 3-х спецпрактикумов для двух указанных выше специализаций. Наряду с этими основными курсами, читается блок лекционных курсов, ориентированных на изучение физических основ современных технологий.

Кафедрой подготовлены учебники и учебные пособия по отделенческим и основным специальным курсам: помимо старых учебных пособий Н.А. Капцова «Электроника» и «Радиофизическая электроника», это учебник А.Ф. Александрова, Л.С. Богданкевич и А.А. Рухадзе «Основы электродинамики плазмы», удостоенный Государственной премии СССР, учебные пособия А.Ф. Александрова и А.А. Рухадзе «Лекции по электродинамике плазмоподобных сред» ч. I и II и  М.Б. Гусевой и Е.М. Дубининой «Физические основы твердотельной электроники», 15 учебных пособий по кафедральным спецкурсам и сборники описаний задач по 3 кафедральным практикумам.
Важнейшими направлениями научной работы кафедры являются:

  •  физика низкотемпературной плазмы всех основных типов газовых разрядов: высокочастотных емкостных (А.Ф. Александров, А.А.  Кузовников, В.П. Савинов, В.Л. Ковалевский), индуктивных и резонансных (А.Ф. Александров, А.А. Рухадзе, Е.А. Кралькина, С.А. Двинин, В.Д. Плаксин, В.С. Свиридкина), свободно-локализованных СВЧ и лазерных (А.А. Кузовников, В.М. Шибков, Г.С. Солнцев, В.А. Черников), сильноточных излучающих разрядов и плазменных струй (А.Ф. Александров, А.А. Рухадзе, И.Б. Тимофеев, В.А.Черников);
  •  сверхзвуковая плазменная аэродинамика и взаимодействие ударных волн с плазмой (А.А. Кузовников, И.Б. Тимофеев, В.М.  Шибков, А.П. Ершов, В.А. Черников);
  •  физика сильноточных электронных пучков и релятивистская СВЧ-электроника (А.Ф. Александров, А.А. Рухадзе, М.В. Кузелев, В.А. Кубарев, В.В. Михеев);
  • взаимодействие излучения с веществом: модификация свойств поверхности под действием ионного (В.Е. Юрасова, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш, Л.Б. Шелякин, А. Хайдаров, К.Ф. Миннебаев, Г.Ю.  Махметов) и электронного (С.С. Еловиков, Р.С. Гвоздовер, Е.Ю.  Зыкова) облучения;
  •  физика тонких пленок и пленочных структур и синтез новых модификаций углерода и угдеродосодержащих материалов (М.Б.  Гусева, В.Г. Бабаев, В.В. Хвостов, Н.Ф. Савченко);
  • электронная и ионная микроскопия и спектроскопия поверхности твердых тел и пленочных структур (В.И. Петров, В.С. Черныш, А.Е. Лукьянов, Г.В. Сапарин, С.К. Обыден, В.В. Хвостов, П.В.  Иванников) и микротомография элементной базы микроэлектроники (Э.И. Рау);
  • медицинская физика: лазерный цитомониторинг биологических систем (А.Ф. Александров, И.Б. Тимофеев, В.А. Черников), биосовместимые покрытия для медицинских имплантантов (А.Ф. Александров, М.Б.  Гусева, В.Г. Бабаев, В.В. Хвостов);
  •  физические основы плазменных и лучевых технологий (А.Ф.  Александров, И.Б. Тимофеев, М.Б. Гусева, В.Г. Бабаев, А.П.  Ершов, Е.А. Кралькина, С.А. Двинин, А.В. Калинин).

Коллектив кафедры внес весомый вклад в развитие всех перечисленных областей науки.

Установка для исследования взаимодействия плазмы со сверхзвуковыми потоками газов. Профессор И.Б.Тимофеев и д.ф.-м.н. В.М.Шибков.

 

 

Научно-исследовательская работа ведется в рамках научных лабораторий физики газоразрядной плазмы и твердотельной электроники, Научно-учебного центра субмикронной технологии и диагностики материалов электронной техники Минобразования и РАН, Учебно-научного центра фотонной энергетики МГУ и МГТУ им. Баумана и Совместной лаборатории проблем плазменного и ионно-лучевого нанесения покрытий Московского и Чувашского госуниверситетов.

Установка для магнетронного распыления
веществ. Д.ф.-м.н. Э.И.Рау.

 

 

Основным источником финансовой поддержки кафедральных НИР являются средства, получаемые по различным грантам, программам, проектам и хоздоговорам. Кафедра активно участвует в 4 крупнейших федеральных научно-технических программах: «Интеграция», «Перспективные технологии и устройства м­икро- и наноэлектроники», «УТС и плазменные процессы» и «Новые материалы». При этом в программе «Интеграция» кафедра является головной организацией, объединяющей и координирующей научные исследования двенадцати ведущих институтов РАН и вузов России. Кроме этого, выполняется целый ряд проектов Миннауки и Минобразования, проектов РФФИ и программы «Университеты России», а также ряд хоздоговорных работ.

Универсальная система для
напыления тонких пленок

 

 

О широких международных связях кафедры свидетельствуют 9 международных проектов, среди которых проект NATO «Science for peace», Nevel Research Laboratory, три партнерских проекта МНТЦ и др. Среди партнеров кафедры по научным исследованиям — Солфордский университет (Англия), Университет Париж-ЮГ (Франция), Копенгагенский университет (Дания), Юньнанский университет (Китай), Национальный университет г. Чеджу (Республика Корея), Институт Макса Планка (г. Штутгарт, Германия), Гумбольдский университет (Берлин, Германия) и др .

Кафедра отвечает за организационно-техническое обеспечение работы специализированного ученого совета Д 501.001.66 (председатель  — проф. А.Ф. Александров), проводящего защиты докторских и кандидатских диссертаций по специальностям 01.04.08 — физика плазмы, 01.04.04  — физическая электроника, 01.04.13 — электрофизика, электрофизические установки, 01.04.01 — приборы и методы экспериментальной физики.

Кафедра является одним из основных организаторов международных конференций «Взаимодействие ионов с поверхностью» и международной Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, Всероссийской научно-технической конференции «Микро- и нано-электроника», а также (совместно с Даггосуниверситетом) Всероссийской конференции по физической электронике.

Сотрудники кафедры участвуют в работе различных координационных советов РАН, Минобразования и Министерства науки и технологий РФ; являются членами редколлегий 7 научных журналов, членами программных и оргкомитетов большинства международных и всероссийских конференций по тематике научной работы кафедры.