Поиск сотрудников физического факультета

Кафедра физической электроники




Фамилия: Рау
Имя: Эдуард
Отчество: Иванович
Ученая степень: д.ф.-м.н.
Ученое звание: профессор
Комната: 1-57а
Должность: ведущий научный сотрудник
Телефон: +7(495)9393895
Факс: +7(495)9391787
Email: rau@pel157a.phys.msu.ru
Страница в интернете: http://ph-elec.phys.msu.ru/staff/rau.html
Научные интересы: Микротомография электронных микро- и наноструктур Диагностика полупроводниковых микроструктур в сканирующей электронной микроскопии
Научная биография:

Рау Эдуард Иванович, профессор. Окончил в 1967 году кафедру электроники физического факультета МГУ, работал на кафедре научным сотрудником, старшим научным сотрудником. В 1972 г. защитил кандидатскую диссертацию. С 1988 года - заведующий объединенной лабораторией по микроскопии и электронной микротомографии, созданной Институтом Проблем Технологий Микроэлектроники РАН и физическим факультетом на кафедре физической электроники. В 1993 году защитил докторскую диссертацию (д.ф.-м.н.), в 1995 году получил звание профессора. Область научных интересов - методы растровой электронной микроскопии, электроннозондовая микротомография, диагностики полупроводников и диэлектриков.

Руководитель 12 кандидатских диссертационных работ, более 30 дипломных работ. Опубликовал около 150 научных статей. За последние годы являлся руководителем работ по ряду научных грантов: РФФИ, Интеграция, CNRS, INTAS, DFG, CRDF.


Основные публикации:
  1. Rau E.I. "SEM-Tomography: Solid-State Media and Microfields". Scanning. (1988). V. 10. P. 1991-196.
  2. Niedrig H., Rau E.I. "Information depth and spatial resolution in BSE microtomography in SEM". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. (1998). B142. P. 523-534.
  3. Rau E.I., Robinson V.N.E. "An annular toroidal backscattered electron energy analyser for use in scanning electron microscopy". Scanning. (1996). V. 18. P. 556-561.